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德国PRIMES微焦点显示器MSM-C

更新:2018-6-7 11:02:54      点击:
  • 品牌:   德国PRIMES
  • 型号:   MSM-C
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产品介绍

束监视器是用于检查、监视和批准非常精细聚焦的激光束的理想工具,例如用于微材料加工中。MSM自动测量和分析在不同Z位置的焦点周围的空间光束分布。

激光参数可以简单地和可重复地记录在过程开发中。激光系统的调试和验收检查可以快速、均匀地进行。光学元件中的老化过程,导致光束参数的变化可以及时识别。因此有可能以有针对性的方式计划维护工作。加工的零件保证质量均匀。当设备发生故障时,故障的来源可以容易地本地化,从而显著减少停机时间。

测量方法-原

 微焦点监视器确定聚焦激光束的光束参数,其平均功率在200微米范围内,在加工区域内从20微米到1毫米不等。纯空气冷却系统在CCD传感器上对通过不同分束器和中性密度玻璃滤光片衰减的激光束成像。光束位置和光束半径是从这样确定的能级的光束分布导出的。借助于集成的Z轴和在激光束的不同位置的测量,确定并记录所描述的光束参数。

根据要测量的光束源,选择MSM的测量光学元件。这里的关键因素是波长(248至1090纳米)和由焦点直径确定的放大(3:1,5:1,15:1)。

集成CCD传感器的动态范围通过曝光时间控制扩展到超过130分贝,使得ISO 11146所要求的焦散线测量超过4瑞利长度。MSM可以补充一个可选的过滤轮,配有中性密度玻璃过滤器(OD1到OD5)。该滤波器轮能够测量功率密度在几瓦特/厘米×几毫瓦/厘米2的范围内,而无需对系统进行修改。

MSM光学系统示意图

实测光束参数

光束分布在各个测量水平上。

焦点尺寸

空间焦点位置

瑞利长度

梁参数乘积

衍射指数M

测量是按照ISO 1146进行的。

 

两种方案可用于MSM的操作和控制:

1、基于PC的激光诊断软件LDS使得可以手动和半自动地测量焦点区域中的光束分布,并确定光束位置和光束尺寸。

2、脚本半自动地控制MSM,例如在维修、质量保证和验收检查中重复测量问题。它们分别适应于手上的测量过程。优点:通过编程的用户指导,可以大大减少对MSM的操作要求。

配件

根据光束参数,有三种不同的光学器件可供选择:

3.3×MOB(测量光学)

5×MOB

15×MOB

所有光学器件可提供以下波长范围:

340纳米

360纳米

515纳米

545纳米

1030纳米

1090纳米

进一步的波长范围可以通过调整透镜上的涂层来测量。

可互换的固定中性密度玻璃滤光片以衰减脉冲和UKP激光器的峰值功率。

采用中性密度玻璃滤光片(OD1至OD5)的滤波轮能够方便地改变MSM的测量范围。

激光诊断软件提供了评价测量结果和监测阈值的选择。

激光诊断软件还允许使用替代的光束半径定义:第二个矩(标准)、86%个功率包含(标准)、狭缝法、刀口测试、GAU拟合过程、86%个功率密度下降、两个额外的功率包含方法和可自由选择的功率阈值。

 

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